ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-81S
商品コード： 111-47706
非常備品
【特長】
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型（半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください）
●低騒音・低振動：他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
【仕様】
●型式：DA-81S
●排気速度：50Hz 75L/min、60Hz 85L/min
●到達圧力：13.1×10^3Pa
●電源：1φ100V（50/60Hz）
●質量（kg）：10.3
●吸気管径（0.0φ×I.Dφ）：12.0×8.0
●最大寸法（W×L×Hmm)：181.0×320.0×217.0
【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用
※サーマルプロテクター（内蔵）
掲載カタログNo-頁 : 10000-0364
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型（半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください）
●低騒音・低振動：他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
【仕様】
●型式：DA-81S
●排気速度：50Hz 75L/min、60Hz 85L/min
●到達圧力：13.1×10^3Pa
●電源：1φ100V（50/60Hz）
●質量（kg）：10.3
●吸気管径（0.0φ×I.Dφ）：12.0×8.0
●最大寸法（W×L×Hmm)：181.0×320.0×217.0
【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用
※サーマルプロテクター（内蔵）
掲載カタログNo-頁 : 10000-0364関連カテゴリ