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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-30D

通常価格:¥ 91,000
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商品コード: 111-47703

非常備品

【特長】
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型(半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください)
●低騒音・低振動:他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。

【仕様】
●型式:DA-30D
●排気速度:50Hz 30L/min、60Hz 36L/min
●到達圧力:6.7×10^3Pa
●電源:1φ100V(50/60Hz)
●質量(kg):11.8
●吸気管径(0.0φ×I.Dφ):9.0×5.0
●最大寸法(W×L×Hmm):212.0×278.0×245.0

【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用

※サーマルプロテクター(内蔵)

掲載カタログNo-頁 : 10000-0364

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