ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D
商品コード： 111-47701
非常備品
【特長】
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型（半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください）
●低騒音・低振動：他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
【仕様】
●型式：DA-20D
●排気速度：50Hz 20L/min、60Hz 24L/min
●到達圧力：5.3×10^3Pa （アンローダーバルブ付）9.3×101Pa
●電源：1φ100V（50/60Hz）
●質量（kg）：7.2
●吸気管径（0.0φ×I.Dφ）：9.0×5.0
●最大寸法（W×L×Hmm)：118.0×236.0×184.0
【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用
※サーマルプロテクター（内蔵）
※アンローダーバルブ（内蔵）
※アンローダーバルブ（オプション）
掲載カタログNo-頁 : 10000-0364
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型（半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください）
●低騒音・低振動：他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
【仕様】
●型式：DA-20D
●排気速度：50Hz 20L/min、60Hz 24L/min
●到達圧力：5.3×10^3Pa （アンローダーバルブ付）9.3×101Pa
●電源：1φ100V（50/60Hz）
●質量（kg）：7.2
●吸気管径（0.0φ×I.Dφ）：9.0×5.0
●最大寸法（W×L×Hmm)：118.0×236.0×184.0
【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用
※サーマルプロテクター（内蔵）
※アンローダーバルブ（内蔵）
※アンローダーバルブ（オプション）
掲載カタログNo-頁 : 10000-0364関連カテゴリ